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E02400 - SEMI E24 - クラスタツール・モジュール・インタフェース： 隔離バルブインタロックのスタンダード StdPbc-0921 This Standard defines the behaviorGlobal Physical Interfaces & Carriers Committee2010430Global Audits and Reviews Subcommittee20106www. semi. org199220047 2010 Referenced SEMI Standards SEMI E21 Cluster Tool Module Interface: Mechanical Interface and Wafer Transport Standard