E15400 - SEMI E154 - Specification for Mechanical Features of 450 mm Load Port Revision:SEMI E154-0814 - Superseded 本方法において定義されるチューブは，管状の形をしており，PFA材質でできている。

本方法において定義されるチューブは，管状の形をしており，PFA材質でできている。

The trimming width

この水分の発生は，多くの過ちに陥りがちであるので，スタンダードによって供給された予測水分濃度と分析によって測定されたレベルが，一致することを要求する。同意されたレベルは，標準水分に対して要求される正確さの度合いに依存して変わる。しかしどんな場合でも，測定し予測した結果は，水分基準の全レンジにわたって10%以内にあるべきである。もしそうでなければ，予測に基づき，どんな他のパラメータでも疑わしいと思われたものは，物理的測定で確証した後に，妥当性検査を繰り返すべきである。

SEMI E90-0702 (technical revision)

E15400 - SEMI E154 - Specification for Mechanical Features of 450 mm Load Port Revision:SEMI E154-0814 - Superseded 本方法において定義されるチューブは，管状の形をしており，PFA材質でできている。The purpose of this Document is to define the basic interface dimensions of a load port on the semiconductor manufacturing equipment (SME), where a 450 FOUP and 450 MAC can be loaded and unloaded. The intention of this Document is to define a set of requirements and features to enable interoperability of load ports and carriers without limiting innovative solutions. The interface specification in this Document is driven by and intended to mate with a