E06600 - SEMI E66 - マスフローコントローラのパーティクル発生測定のテスト方法 Revision:SEMI E66-0611 - Superseded 5 to 50 slm) and

5 to 50 slm) and moderately high pressure drops

構成要素のガスはすべて，SEMI仕様があれば，その該当仕様に従わなければならない。

This Guide provides criteria for measurement methodology for micro-bump dimensions

本法で定義するチューブフィッティングは，内部流体に接する部分が全てフッ素樹脂製であること。

E06600 - SEMI E66 - マスフローコントローラのパーティクル発生測定のテスト方法 Revision:SEMI E66-0611 - Superseded 5 to 50 slm) andglobal Gases Committee2011513global Audits and Reviews Subcommittee20116www. semiviews. org www. semi. org200311 Referenced SEMI Standards SEMI E29 Terminology for the Calibration of Mass Flow Controllers and Mass Flow Meters SEMI F1 Specification for Leak Integrity of High Purity Gas Piping Systems and Components